第三百零三章 表彰重奖 (第1/2页)
阳威力通过对讲机沟通，让一位名为柏巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，廉安平教授亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。
见状，刘焱出声询问道：
“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF（氟化氪）准分子激光作为光源？”
乌光辉回答道：
“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发
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